科学系ニュース GaN-on-Siでのバッファ層の役割 バッファ層が熱応力や格子不整合の緩和ができる理由は何か?
GaN-on-Siでは、物性の異なるGaNとSiの間にバッファ層と呼ばれる中間層です。結晶構造や熱膨張係数の大きな差を緩和し、機能層の結晶欠陥の発生を防ぐことが不可欠です。熱応力や格子不整合の緩和ができる理由を知ることができます。
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