科学系ニュース フォトマスク フォトマスクとは何か?どのような機能が求められるのか?
半導体の重要性が増す中で、前工程装置は世界的に成長が続いています。フォトマスクは微細な回路パターンをウェーハ上に転写するフォトリソグラフィで「原版」または「型」となるもので、微細化の進む半導体で重要になっている材料です。フォトマスクの構成や重要度、有名なメーカーはどこかなどを知ることができます。
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