科学系ニュース JOINT3での東京エレクトロン どのような役割なのか?成膜装置やエッチング装置に求められるものは何か?
レゾナックや東京エレクトロンなど国内外の27社が、AI半導体向け新基板開発を目的としたコンソーシアム「JOINT3」を設立しました。東京エレクトロンはパネルレベル有機インターポーザーに適した装置や設計ツールの開発を担っています。成膜やエッチングの装置への要求について知ることができます。
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